D'Roll vum Schwefelhurrung Hexafrioride zu Silicon Nitriide Etching

Nolfur Hexafluuer ass e Gas mat exzellentsten Eegeschafte benotzt an gëtt dacks an enger High-Volting a Transformatoren benotzt, héich-Vototredukter, transforméiert, héich-Voltiker Lange, addc. Wéi och ëmmer zu dësen Funktiounen kann och als elektresch Etablatioun benotzt ginn. Elektronesch Schouljoer héich-purity Schwefel Hexafluoride ass en idealen elektroneschen Etabnt, deen am Feld vu Mikelektronik Technologie benotzt gëtt. Haut, NIU Ruide Special Gas Editor Yueyue wäert d'Applikatioun vum Hierfrord a Sexreutriide a Silicrafting an den Afloss an den Afloss an den Afloss an den Afloss vun anere Parameteren.

Mir diskutéieren an oppassen, an explizéiert d'Relatioun tëscht dem ännere vun der Handexitching Taux an der Plasma Spezies Konzentratioun.

Studien hunn fonnt datt wann d'Plaasma erhéicht gëtt, erhéicht d'effektiv Bewäertung erhéicht; Wann de Fluxstrate vum SF6 an der Plasma eropgeet, gëtt de F OceTom Konzentratioun eropgeet an ass positiv mat dem Äschenkrate. Fir hei geet eréischt un d'tationalesch Fettmaart bäi d'O2 flues ** d'Effiz vun der 42 / SF6-Floxis, mee den Hection-Floxis-Verzeegung ... (2) Wann d'O2 / SF6 Flow Verhältnis wéi 0,2 un d'Installatioun vun sociatioun ass, wéinst där Zäit mat der grousser Quantitéit vun SF6 ze bilden, zum Beispill wéinst der grousser Dorératioun vum SF6) Zu dëser Zäit vu SF6éieren dozefanzentéierend Fociatiounen. Wéinst Ärem Sënn ass d'ganz Heftzeg. Dofir sollt een d'Seltendautere wou och de Smpferium stoe just an ass et ass einfach ze bilden, awer nëmme fir den Eptomo op der Aart vun de Sënn) op der Aart spezial. Dofir ass den huet den etchente Razit un méi lues ze lues unhalen wann den O2 / sF6 Verhältnis zoumaacht op 1. (3) Wann d'O2/5verännert ass méi grouss. Wéinst der grousser Erhéijung vum O2, soll de Dissiono v anzeegtsen mam O2 a Form vun Fach erhalen, wéi eng Ofkuttositioun vun zu engem grousse Passioun entsteet ginn. Et kann aus alles souhn ze gesinn ginn, gëtt de Flossatänner ënner fléisse 02 an dem gudden 0,8 an de Student kritt.


Postzäit: Dec-06-2021