Komponent | 99,9999% | Eenheet |
Sauerstoff (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Stéckstoff | ≤0,1 | ppmV |
Waasserstoff | ≤20 | ppmV |
Helium | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
THC | ≤0,1 | ppmV |
Chlorsilanen | ≤0,1 | ppmV |
Disiloxan | ≤0,1 | ppmV |
Disilan | ≤0,1 | ppmV |
Fiichtegkeet (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Silan ass eng Verbindung aus Silizium a Waasserstoff. Et ass en allgemenge Begrëff fir eng Serie vu Verbindungen, dorënner Monosilan (SiH4), Disilan (Si2H6) a verschidde Silizium-Waasserstoffverbindungen op engem méi héijen Niveau. Ënnert hinnen ass Monosilan am heefegsten, heiansdo kuerz Silan genannt. Silan ass e faarflos Gas mat engem ekelhafte Knueweleksgeroch. Léislech a Waasser, bal onléislech an Ethanol, Ether, Benzol, Chloroform, Siliziumchloroform a Siliziumtetrachlorid. Déi chemesch Eegeschafte vu Silane si vill méi aktiv wéi Alkane a gi liicht oxidéiert. Spontan Verbrennung kann a Kontakt mat Loft optrieden. Et reagéiert net mat Stéckstoff ënner 25°C a reagéiert net mat Kuelewaasserstoffverbindungen bei Raumtemperatur. Feier an Explosioun vu Silan sinn d'Resultat vun der Reaktioun mat Sauerstoff. Silan ass extrem empfindlech op Sauerstoff a Loft. Silan mat enger bestëmmter Konzentratioun reagéiert och explosiv mat Sauerstoff bei enger Temperatur vun -180°C. Silan ass dat wichtegst Spezialgas ginn, dat a Mikroelektronikprozesser am Hallefleederberäich benotzt gëtt, a gëtt bei der Virbereedung vu verschiddene mikroelektronesche Filmer benotzt, dorënner Eenzelkristallfilmer, mikrokristallin, polykristallin, Siliziumoxid, Siliziumnitrid a Metallsiliziden. Déi mikroelektronesch Uwendungen vu Silan entwéckelen sech nach ëmmer déifgräifend: Niddertemperatur-Epitaxie, selektiv Epitaxie an Heteroepitaxial-Epitaxie. Net nëmme fir Silizium-Komponenten an integréiert Silizium-Schaltkreesser, mä och fir verbonne Hallefleeder-Komponenten (Galliumarsenid, Siliziumcarbid, etc.). Et huet och Uwendungen an der Virbereedung vu Supergitter-Quantebrunnmaterialien. Et kann ee soen, datt Silan an der moderner Zäit a bal all fortgeschrattene Produktiounslinne fir integréiert Schaltkreesser benotzt gëtt. D'Uwendung vu Silan als Siliziumhaltege Film a Beschichtung huet sech vun der traditioneller Mikroelektronikindustrie op verschidde Beräicher wéi Stol, Maschinnen, Chemikalien an Optik ausgebreet. Eng aner potenziell Uwendung vu Silan ass d'Produktioun vun héichperformante Keramikmotordeeler, besonnesch d'Benotzung vu Silan fir d'Produktioun vu Silicid- (Si3N4, SiC, etc.) Mikropulvertechnologie huet ëmmer méi Opmierksamkeet op sech gezunn.
①Elektronesch:
Silan gëtt op polykristallin Siliziumschichten op Siliziumwaferen bei der Fabrikatioun vu Hallefleeder a Dichtmëttelen applizéiert.
②Solar:
Silan gëtt an der Fabrikatioun vu Photovoltaikmoduler benotzt.
③Industriell:
Et gëtt an energiespuerendem grénge Glas benotzt a fir d'Dënnschichtverfahren duerch Dampfabsetzung ugewannt.
Produkt | Silan SiH4 Flëssegkeet | |
Pakgréisst | 47 Liter Zylinder | Y-440L |
Nettogewiicht/Zylinder (Füllung) | 10 kg | 125 kg |
Quantitéit an engem 20' Container gelueden | 250 Zylinder | 8 Zylinder |
Gesamt Nettogewiicht | 2,5 Tonnen | 1 Tonn |
Zylinder Taragewiicht | 52 kg | 680 kg |
Ventil | CGA632/DISS632 |
①Méi wéi zéng Joer um Maart;
②ISO Zertifikat Hiersteller;
③ Schnell Liwwerung;
④Stabil Rohmaterialquell;
⑤Online-Analysesystem fir Qualitéitskontroll a jidder Etapp;
⑥Héich Ufuerderung a grëndleche Prozess fir d'Handhabung vum Zylinder virum Fëllen;
⑦Purity: elektronesch Qualitéit vun héijer Rengheet;
⑧Benotzung: Solarzellmaterialien; Hierstellung vu Polysilizium mat héijer Rengheet, Siliziumoxid a Glasfaser; Produktioun vu faarwege Glas.