Wat assKuelestofftetrafluoridWat ass de Gebrauch dovun?
Kuelestofftetrafluorid, och bekannt als Tetrafluormethan, gëllt als eng anorganesch Verbindung. Et gëtt am Plasmaätzprozess vu verschiddenen integréierte Schaltkreesser benotzt, an och als Lasergas a Kältemëttel. Et ass relativ stabil ënner normalen Temperaturen an Drock, awer et ass néideg Kontakt mat staarken Oxidatiounsmëttelen, brennbare oder brennbare Materialien ze vermeiden. Kuelestofftetrafluorid ass en net brennbare Gas. Wann et op héich Hëtzt kënnt, erhéicht et den internen Drock vum Behälter, an et besteet d'Gefor vu Rëss an Explosioun. Normalerweis kann et nëmme bei Raumtemperatur mat flëssegem Ammoniak-Natriummetallreagens interagéieren.
Kuelestofftetrafluoridass de Moment dat gréisst Plasmaätzgas, dat an der Mikroelektronikindustrie benotzt gëtt. Et kann wäit verbreet beim Ätzen vu Silizium, Siliziumdioxid, Phosphosilikatglas an aner Dënnschichtmaterialien, der Reinigung vun der Uewerfläch vun elektroneschen Apparater, der Produktioun vu Solarzellen, Lasertechnologie, Gasphasenisolatioun, Niddertemperaturkillung, Leckdetektiounsmëttel a Wäschmëttel an der Produktioun vu gedréckte Schaltkreesser benotzt ginn. Et gëtt eng grouss Zuel vun Uwendungen.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 01. November 2021
