Elektroneschspeziell Gasersinn eng wichteg Branche vun de Spezialgaser. Si penetréieren bal all Etapp vun der Hallefleederproduktioun a si sinn onverzichtbar Rohmaterialien fir d'Produktioun vun elektroneschen Industrien, wéi z. B. ultragrouss integréiert Schaltungen, Flachbildschirmer a Solarzellen.

An der Hallefleedertechnologie gi fluorhalteg Gaser wäit verbreet benotzt. Aktuell maachen fluorhalteg elektronesch Gaser um weltwäite Maart fir elektronesch Gaser ongeféier 30% vum Gesamtvolumen aus. Fluorhalteg elektronesch Gaser sinn eng wichteg Komponent vu spezielle elektronesche Gaser am Beräich vun elektroneschen Informatiounsmaterialien. Si gi virun allem als Botzmëttel an Ätzmëttel benotzt, a kënnen och als Dotiermëttel, Filmbildungsmaterialien, etc. benotzt ginn. An dësem Artikel wäert den Auteur Iech an d'Verständnis vun de gängegen fluorhaltege Gaser féieren.

Déi folgend sinn dacks benotzt fluorhalteg Gaser

Stéckstofftrifluorid (NF3): E Gas, dat fir d'Botzen an d'Entfernung vun Oflagerungen benotzt gëtt, normalerweis fir d'Botzen vu Reaktiounskummeren an Ausrüstungsuewerflächen.

Schwefelhexafluorid (SF6): E Fluoréierungsmëttel, dat bei Oxidoflagerungsprozesser a als Isolatiounsgas fir d'Fëllung vun Isolatiounsmedien benotzt gëtt.

Waasserstofffluorid (HF): Gëtt benotzt fir Oxiden vun der Siliziumoberfläche ze entfernen an als Ätzmëttel fir Silizium an aner Materialien ze ätzen.

Stéckstofffluorid (NF): Gëtt benotzt fir Materialien wéi Siliziumnitrid (SiN) an Aluminiumnitrid (AlN) ze ätzen.

Trifluormethan (CHF3) anTetrafluormethan (CF4)Gëtt benotzt fir Fluoridmaterialien wéi Siliziumfluorid an Aluminiumfluorid ze ätzen.

Wéi och ëmmer, fluorhalteg Gase hunn gewësse Gefore, dorënner Toxizitéit, Korrosivitéit a Brennbarkeet.

Toxizitéit

Verschidde fluorhalteg Gase si gëfteg, wéi zum Beispill Waasserstofffluorid (HF), deem säin Damp d'Haut an d'Atmungstrakt staark irritéiert a schiedlech fir d'mënschlech Gesondheet ass.

Korrosiounsfäegkeet

Waasserstofffluorid a verschidde Fluoriden si staark korrosiv a kënne schwéier Schied un der Haut, den Aen an den Atmungstrakt verursaachen.

Entzündlechkeet

Verschidde Fluoriden si brennbar a reagéiere mat Sauerstoff oder Waasser an der Loft fir intensiv Hëtzt a gëfteg Gase fräizesetzen, déi Feier oder Explosioun verursaache kënnen.

Gefor duerch Héichdrock

Verschidde fluoréiert Gase si bei héijem Drock explosiv a brauche besonnesch Suergfalt beim Gebrauch a Lagerung.

Impakt op d'Ëmwelt

Fluorhalteg Gase hunn eng héich atmosphäresch Liewensdauer a GWP-Wäerter, déi en zerstéierende Effekt op d'atmosphäresch Ozonschicht hunn a kënnen zu globaler Erwiermung an Ëmweltverschmotzung féieren.

D'Uwendung vu Gaser an opkomende Beräicher wéi Elektronik verdéift sech weider, wat eng grouss nei Nofro fir Industriegaser mat sech bréngt. Baséierend op der grousser neier Produktiounskapazitéit vu wichtegen elektronesche Komponenten wéi Hallefleeder an Displaypanelen um Festlandchina an den nächste Joren, souwéi der staarker Nofro fir Importsubstitutioun vun elektronesche chemesche Materialien, wäert d'inlännesch Elektronikgasindustrie eng héich Wuestumsquote erliewen.