Elektroneschspeziell Gasesinn eng wichteg Branche vu spezielle Gasen. Si penetréieren bal all Link vun der Hallefleitproduktioun a sinn onverzichtbar Rohmaterial fir d'Produktioun vun elektroneschen Industrien wéi ultra-grouss-Skala integréiert Circuiten, flaach Panel Display-Geräter, a Solarzellen.

An der Hallefleittechnologie gi Fluorhalteg Gase vill benotzt. De Moment, um weltwäiten elektronesche Gasmaart, stellen fluorhalteg elektronesch Gase ongeféier 30% vum Gesamt aus. Fluorhalteg elektronesch Gase sinn e wichtege Bestanddeel vu speziellen elektronesche Gasen am Beräich vun elektroneschen Informatiounsmaterialien. Si ginn haaptsächlech als Botzmëttelen an Ätzmëttelen benotzt, a kënnen och als Dotatiounsmëttel, filmbildende Materialien benotzt ginn, etc.. An dësem Artikel wäert den Auteur Iech déi allgemeng Fluorhaltege Gase verstoen.

Déi folgend sinn allgemeng benotzt Fluor-haltege Gase

Nitrogentrifluorid (NF3): E Gas deen benotzt gëtt fir Oflagerungen ze botzen an ze läschen, normalerweis fir d'Botzen vun Reaktiounskammeren an Ausrüstungsflächen benotzt.

Schwefelhexafluorid (SF6): E Fluoréierungsmëttel deen an Oxidablagerungsprozesser benotzt gëtt an als Isoléiergas fir Isoléiermedien ze fëllen.

Waasserstofffluorid (HF): Benotzt fir Oxiden aus der Silizium Uewerfläch ze entfernen an als Ätze fir Silizium an aner Materialien ze Ätzen.

Nitrogenfluorid (NF): Benotzt fir Materialien wéi Siliziumnitrid (SiN) an Aluminiumnitrid (AlN) ze ätzen.

Trifluormethan (CHF3) anTetrafluormethan (CF4): Benotzt fir Fluoridmaterialien wéi Siliziumfluorid an Aluminiumfluorid ze ätzen.

Wéi och ëmmer, Fluorhalteg Gase hu gewësse Gefore, dorënner Toxizitéit, Korrosivitéit a Brennbarkeet.

Toxizitéit

E puer fluorhalteg Gase si gëfteg, sou wéi Waasserstofffluorid (HF), deem säin Damp héich irritéiert fir d'Haut an d'Atmungstrakt a schiedlech fir d'mënschlech Gesondheet.

Korrosivitéit

Waasserstofffluorid an e puer Fluoriden sinn héich ätzend a kënne eeschte Schued un der Haut, Aen an Atmungstrakt verursaachen.

Brennbarkeet

E puer Fluoriden si brennbar a reagéiere mat Sauerstoff oder Waasser an der Loft fir intensiv Hëtzt an gëfteg Gase fräizesetzen, déi Feier oder Explosioun verursaache kënnen.

Héich-Drock Gefor

E puer fluoréiert Gase sinn explosiv ënner héijen Drock a erfuerderen speziell Betreiung wann se benotzt a gespäichert ginn.

Impakt op d'Ëmwelt

Fluor-haltege Gase hunn héich atmosphäresch Liewensdauer a GWP Wäerter, déi en zerstéierende Effekt op d'atmosphäresch Ozonschicht hunn a kënnen d'global Erwiermung an d'Ëmweltverschmotzung verursaachen.

D'Uwendung vu Gasen an opkomende Felder wéi Elektronik geet weider ze verdéiwen, wat eng grouss Quantitéit un nei Nofro fir industriell Gase bréngt. Baséierend op der grousser Quantitéit vun neier Produktiounskapazitéit vu groussen elektronesche Komponenten wéi Halbleiteren a Displaypanelen am Festland China an den nächste Joren, souwéi der staarker Nofro fir Importsubstitutioun vun elektronesche chemesche Materialien, wäert d'Hauselektronesch Gasindustrie agefouert ginn. engem héije Wuesstem Taux.