Elekticy-Stistronspeziell Gasensinn eng wichteg Branche vu spezielle Gasen. Si penetréieren bal all Linkdefellen.

An der Semikondkulsatioun Technologie, Fluorin-enthalen Gase ginn wäit benotzt. De Moment, am globesche elektronesche Gasmaart, Fluorin-enthalen elektronesch Gase fir ongeféier 30% vum ganzen. Fluorin-enthält elektronesch Gase sinn e wichtege Komponent vun de speziellen elektroneschen Gasen am Feld vun elektronesche Informatiounsmaterialien. Si ginn haaptsächlech sou zu Botzstraden Ariffenten an den Doching Agents, a gëtt och als Biller benotzt.

Déi folgend ginn allgemeng Fluorin-enthalen Gase benotzt

Nitrogen TriFluidide (NF3): e Gas benotzt fir d'Botzen ze botzen an ze läschen, normalerweis fir Botzen Reaktiounskammer an Ausrüstungssflächen.

Sulfur hexafluorifide (SF6): E Fluorinating Agent benotzt an Oxide Ofstelle Prozesser an als isoléierend Gas fir isoléierend Medien ze fëllen.

Waasserstoff Fluoride (HF): benotzt fir Oxiden aus der Silikal Uewerfläch ze läschen an als Etchant fir etching Silicon an aner Materialien an aner Materialien.

Nitrogen Fluorid (NF): benotzt fir Etchmaterial wéi Silicon Nitride (Sënn) an Aluminium Nitrid (ALN).

Trifluomomethan (Chf3) antetrafluoroshethane (CF4): Benotzt op etch Fluoridaterial wéi Silizon Fluorid an Aluminum Fluorid.

Mat awer wäert d'Farmorzis gehéieren, déi gewësse Geforen sinn, inklusiv Madrossial, Wierklechkeet, an Finnamméieren.

Toxizitéit

E puer Fluorin-enthält Gase sinn gëfteg, wéi e flotten Fluorgide (HF), deem säi Damp héich irritéierend ass an d'Haut an der Loft.

Korrosivitéit

Waasserstofffliger an e puer Fluoriden sinn héich korrosiv a kann e seriöse Schued un d'Haut, d'Ae an den Atmungstrakt verursaachen.

Broessonsitéit

E puer Fluoriden si brennbar a reagéiere mat Sauerstoff oder Waasser an der Loft fir intensiv Hëtzt an toxesch Gasen ze befreien, wat Feier oder Explosioun verursaache kann.

Héich Drockrisiko

E puer gefript Gase ginn explosiv ënner héijen Drock an erfuerdert speziell Betreiung wann se benotzt a gelagert ginn.

Impakt op d'Ëmwelt

Fluorin-enthalen Gasen hunn héich atmosphär Liewenslieder a GWP Wäerter, déi eng zerstéierend Effekt vun der atmosphärescher Schicht verursaache kënnt, a kënne gogleen Engagement an Ëmweltverschicht sinn.

D'Applikatioun vun den Maasen an de leschten Felder wéi Elektronik weider ze verdéiwen, e grousse Betrag vun neie Demande fir industriellgasis ze bréngen. Basispriät an an der grousser Masskierper vun den elektronesche Materialen, déi dem Ofstand an engem héije Secriiche-d'Seleche an d'Zeilsen a Groussland benden an ëm de Princmlands zu Lëtzebuerg