Wolframhexafluorid (WF6) gëtt duerch e CVD-Prozess op der Uewerfläch vum Wafer ofgesat, wouduerch d'Metallverbindungsgräben gefëllt ginn an d'Metallverbindung tëscht de Schichten geformt gëtt.
Loosst eis fir d'éischt iwwer Plasma schwätzen. Plasma ass eng Form vu Matière, déi haaptsächlech aus fräien Elektronen an geluedenen Ionen zesummegesat ass. Et existéiert wäit verbreet am Universum a gëtt dacks als de véierte Zoustand vun der Matière ugesinn. Et gëtt de Plasmazoustand genannt, och "Plasma" genannt. Plasma huet eng héich elektresch Leetfäegkeet an huet e staarke Kopplungseffekt mat engem elektromagnetesche Feld. Et ass en deelweis ioniséiert Gas, dat aus Elektronen, Ionen, fräie Radikale, neutralen Partikelen a Photonen zesummegesat ass. De Plasma selwer ass eng elektresch neutral Mëschung, déi physikalesch a chemesch aktiv Partikelen enthält.
Déi einfach Erklärung ass, datt ënner der Wierkung vun héijer Energie d'Molekül d'Van-der-Waals-Kraaft, d'Kraaft vun der chemescher Bindung an d'Coulomb-Kraaft iwwerwënnt a gläichzäiteg eng Form vun neutraler Elektrizitéit presentéiert. Gläichzäiteg iwwerwënnt déi héich Energie, déi vun der Äussewelt vermëttelt gëtt, déi dräi uewe genannten Kräften. Funktioun: Elektronen an Ionen presentéieren e fräien Zoustand, deen ënner der Modulatioun vun engem Magnéitfeld künstlech benotzt ka ginn, wéi zum Beispill Hallefleederätzprozesser, CVD-Prozesser, PVD-Prozesser an IMP-Prozesser.
Wat ass héich Energie? Theoreetesch kënnen souwuel héich Temperaturen ewéi och héichfrequent HF benotzt ginn. Am Allgemengen ass et bal onméiglech, eng héich Temperatur z'erreechen. Dës Temperaturufuerderung ass ze héich a kéint no bei der Sonnetemperatur leien. Et ass am Fong onméiglech, se dobäi z'erreechen. Dofir benotzt d'Industrie normalerweis héichfrequent HF fir dëst z'erreechen. Plasma-HF kann bis zu 13 MHz+ erreechen.
Wolframhexafluorid gëtt ënner der Aktioun vun engem elektresche Feld plasmaiséiert an dann duerch e Magnéitfeld verdampft. W-Atomer sinn ähnlech wéi Wantergänsfiederen a falen ënner der Aktioun vun der Schwéierkraaft op de Buedem. Lues a lues ginn d'W-Atomer an d'Duerchgängeg Lächer ofgesat a schliisslech voll duerch Lächer gefëllt fir Metallverbindungen ze bilden. Nieft der Ofsetzung vun de W-Atomer an den Duerchgängeg Lächer, ginn se och op der Uewerfläch vum Wafer ofgesat? Jo, definitiv. Am Allgemengen kann een de W-CMP-Prozess benotzen, dee mir de mechanesche Schleifprozess nennen, fir ze entfernen. Et ass ähnlech wéi wann ee mat engem Biesem de Buedem no schwéierem Schnéi ofkéiert. De Schnéi um Buedem gëtt ewechgekéiert, awer de Schnéi am Lach um Buedem bleift leien. Ënnen, ongeféier d'selwecht.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 24. Dezember 2021
