Gemeinsam Fluorine-enthält speziell elektronesch Gase enthalensulfur hexafluorifide (SF6), tungstéiert Hexafluoride (WF6),Kuelestoff Tetrafluoride (CF4)Dorkolomomethan (FM3), lästolorid (NF3), Hexafluophone (C2F6).
Op der Entwécklung vun der Entwécklung vun der Entwécklung vum grousse Concolutioun vum Ostenoniker Indikustrie, huet seng Demonsäschte dauert. De stefobergeneëchen, als onlechtlecht afreifescht Spezialflice an d'Produktioun an d'Veraarbechtung vun de Memberen an d'Verhoossung a Verhollung erreecht.
Als Aart vu Fluorin-enthält speziell Gas,Nitrogen Trifluoride (NF3)ass dat elikatesch Gasprodukt mat de gréisste Maartkapazitéit. Et ass chemesch intern Zeremperperéiert, méi aktiv wéi Saxygen mat héijer Temperatur, méi stabil wéi Fluorin, an einfach ze verschaffen. Schnéie Trifrolle gëtt haaptsächlech als Plasa am Ausgläich an enger Rescht Packungszentrum benotzt, an ass guel fir d'Fabréck vun der Fabrikatioun vun de Fabrikatiounen, et gëlt fir d'Fabrikatioun vun de Fabrikatiounen, et ass grad op d'Fabrikatioun vun de Fabrikatiounen, et gage ugewannt, et ass mat der Fabrikatiounsfips, Ec.
Am Verglach mat enger anerer Fluorin-enthalen elektronesch Gase,Nitrogen TrifluorideHuet d'Virdeeler vu feastescher Reaktioun an héich Effizienz. Virun allem an der Eechnung vu Silizecht - enthalen d'Material wéi Silicon Nitriid, huet et eng héich Etchendagstrat an d'Selektivitéit, verloosse kee Reschtinstahm. Et ass am ganze gudde Butsch Agentur a huet sech keng pollierzell rascht an d'Uewerfläch, dat wëll erfëtzbarst vum Prozess vum Prozess vum Prozessement kann entspriechend entspaechnen, dat heescht
Postzäit: Sep-14-2024
