Déi gréisst Quantitéit vun elektronesche Special Gas - Nitrogen Trifluorid NF3

Eist Land vun eisem Land ass d'Hallefinstruktioun Industrie an der Panelindustrie erhalen en héijen Niveau vun der Wuelstand. De stoussen triflantugooss, als onwichtegt a gréisste-elektroneschte Gas an d'Veraarbechtung an d'Veraarbechtung an d'Veraarbechtung an Verzeechnemets.

Allgemeng benotzt Fluorin-enthalen spezielle elektronesch Gase enthalensulfur hexafluorifide (SF6), tungstéiert Hexafluoride (WF6),Kuelestoff Tetrafluoride (CF4)Dorkolomomethan (FM3), lästolorid (NF3), Hexafluophone (C2F6). Den Nitrogen Trifluoride (NF3) gëtt haaptsächlech als Fluorinquell fir Waasserstoffflice-Fluorid-Futtergoligin Laser. Den effektiven Deel (ongeféier 25%) vun der Reaktiounszörmungsergie tëscht H2-O2 an F2 kann duerch Laser Stralung verëffentlecht ginn, sou datt hf-vu Laser déi meescht Laser déi haaptsächlech lasers ënner chemablere Lasers ënner chemiers sinn.

Den Nitmologogen trifruorid ass en exzellent Plasma Etchas an der Mikroelerikiker Industrie. Fir den Etching Silicon a Silicon Nitbreedung huet, huet de Géigneresdruperiteur e méi héijen Etrigitualiséierung a Wäertlechkeet wéi Kuelestoff aus Kuelekandaliduatur a Sauerstoff, an huet keng Pollutioun op der Uewerfläch erholl. Virun der Etapp vum Etchelce vun integréiert Objektmaterialien mat enger Dickelcher vun mannerem Tickloun. Op der Entwécklung vun der Entwécklung vun der Entwécklung vum grousse Concolutioun vum Ostenoniker Indikustrie, huet seng Demonsäschte dauert.

微信图片 _20241226103111

Als Zort vu Rouler Produit betreffend onsutz Trifbrantmung (NF3) ass dat existent eventen e elektronesche Gasprodukt am Maart. Et ass chemesch intern Zertesch Trämeter, méi aktiv wéi Sauerstoff, méi stabil wéi Fluorin, an einfach bei héijer Temperatur.

Fitmopien trifrudger gëtt haaptsächlech als Plasma a Geforqualitéit vum Klouschter, gëeegent Fister,

Mat Hëllef vu Resorishine-Elektresch Appartement, an et gëtt d'Viraussoen fir séier Reaktioun ze treffen an héich Effizien mat der Eenzelstéckung Prozess.


Postzäit: Dezember 26-2024