Am Joer 2018 huet de weltwäite Maart fir elektronescht Gas fir integréiert Schaltungen 4,512 Milliarden US-Dollar erreecht, eng Erhéijung vun 16% am Verglach zum Vorjahr. Déi héich Wuestumsquote vun der elektronescher Spezialgasindustrie fir Hallefleeder an déi enorm Maartgréisst hunn de Plang fir den nationale Substitutiounsplang vum elektronesche Spezialgas beschleunegt!
Wat ass Elektronegas?
Elektronescht Gas bezitt sech op dat Basismaterial, dat bei der Produktioun vun Hallefleeder, Flachbildschirmer, Liichtemittéierende Dioden, Solarzellen an aner elektronesch Produkter benotzt gëtt, a gëtt wäit verbreet fir d'Botzen, d'Ätzen, d'Filmbildung, d'Dotierung an aner Prozesser agesat. Zu den Haaptapplikatiounsberäicher vum elektronesche Gas gehéieren d'Elektronikindustrie, Solarzellen, Mobilkommunikatioun, Autonavigatioun an Auto-Audio- a Videosystemer, Loftfaart, Militärindustrie a vill aner Beräicher.
Elektronescht Spezialgas kann no senger chemescher Zesummesetzung a siwe Kategorien agedeelt ginn: Silizium, Arsen, Phosphor, Bor, Metallhydrid, Halogenid a Metallalkoxid. Jee no de verschiddenen Uwendungsmethoden an integréierte Schaltungen kann et an Dotiergas, Epitaxiegas, Ionenimplantatiounsgas, Liichtdiodengas, Ätzgas, chemescht Dampfoflagerungsgas a Gläichgewiichtsgas agedeelt ginn. Et gi méi wéi 110 Eenheeten Spezialgaser, déi an der Hallefleederindustrie benotzt ginn, vun deenen iwwer 30 allgemeng benotzt ginn.
Allgemeng gëtt d'Hallefleederproduktiounsindustrie Gaser an zwou Zorten ënnerdeelt: üblech Gaser a Spezialgaser. Dorënner bezitt sech dat üblech benotzt Gas op eng zentraliséiert Versuergung a benotzt vill Gas, wéi N2, H2, O2, Ar, He, etc. Spezialgas bezitt sech op verschidde chemesch Gaser, déi am Prozess vun der Hallefleederproduktioun benotzt ginn, wéi z. B. Verlängerung, Ioneninjektioun, Mëschen, Wäschen a Maskenbildung, wat mir haut elektronescht Spezialgas nennen, wéi z. B. héichreine SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, etc.
Am ganze Produktiounsprozess vun der Hallefleederindustrie, vum Chip-Entwécklung bis zur endgülteger Verpackung vun den Apparater, ass bal all Glied onzertrennlech vum elektronesche Spezialgas, der Villfalt vum benotzte Gas an den héije Qualitéitsufuerderungen, dofir huet elektronescht Gas Hallefleedermaterialien. "Liewensmëttel".
An de leschte Joren huet d'Produktiounskapazitéit vun de wichtegsten elektronesche Komponenten a China, wéi Hallefleeder an Displaypanelen, zougeholl, an et gëtt eng staark Nofro fir Importsubstitutioun vun elektronesche chemesche Materialien. D'Positioun vun den elektronesche Gaser an der Hallefleederindustrie ass ëmmer méi prominent ginn. Déi inlännesch elektronesch Gasindustrie wäert e séiert Wuesstem erliewen.
Elektronescht Spezialgas huet ganz héich Ufuerderungen un d'Reinheet, well wann d'Reinheet net den Ufuerderungen entsprécht, bilden sech Onreinheetsgruppen wéi Waasserdamp a Sauerstoff am elektronesche Spezialgas liicht en Oxidfilm op der Uewerfläch vum Hallefleeder, wat d'Liewensdauer vun elektroneschen Apparater beaflosst, an dat elektronescht Spezialgas enthält Onreinheetspartikelen, déi Hallefleeder-Kuerzschlëss a Schaltungsschued verursaache kënnen. Et kann ee soen, datt d'Verbesserung vun der Rengheet eng wichteg Roll beim Rendement an der Leeschtung vun der Produktioun vun elektroneschen Apparater spillt.
Mat der kontinuéierlecher Entwécklung vun der Hallefleederindustrie verbessert sech de Chip-Fabrikatiounsprozess weider, an elo huet en 5nm erreecht, wat bal un d'Grenz vum Moore-Gesetz kënnt, déi engem Zwanzegstel vum Duerchmiesser vun engem mënschlechen Hoer entsprécht (ongeféier 0,1 mm). Dofir stellt dat och méi héich Ufuerderungen un d'Reinheet vum elektronesche Spezialgas, dat vun Hallefleeder produzéiert gëtt.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 15. Dezember 2021
