Am Joer 2018 huet de weltwäiten elektronesche Gasmaart fir integréiert Circuits US $ 4.512 Milliarde erreecht, eng Joer-op-Joer Erhéijung vun 16%. Den héije Wuesstumsquote vun der elektronescher Spezialgasindustrie fir Halbleiteren an déi rieseg Maartgréisst hunn den Haussubstitutiounsplang vum elektronesche Spezialgas beschleunegt!
Wat ass Elektronengas?
Elektronesch Gas bezitt sech op d'Basisquellmaterial, dat an der Produktioun vun Hallefleit, Flach Panel Displays, Liichtdioden, Solarzellen an aner elektronesch Produkter benotzt gëtt, a gëtt wäit an der Botzen, Ätzen, Filmbildung, Doping an aner Prozesser benotzt. D'Haaptapplikatiounsberäicher vum elektronesche Gas enthalen d'Elektronikindustrie, Solarzellen, Mobilkommunikatioun, Autonavigatioun an Autosaudio a Videosystemer, Raumfaart, Militärindustrie a vill aner Felder.
Elektronesch speziell Gas kann a siwe Kategorien opgedeelt ginn no senger eegener chemescher Zesummesetzung: Silizium, Arsen, Phosphor, Bor, Metallhydrid, Halogenid a Metallalkoxid. No verschiddenen Uwendungsmethoden an integréierte Circuiten kann et an Dopinggas, Epitakxygas, Ionimplantatiounsgas, Liichtemittéierend Diodegas, Ätsgas, chemesche Dampdepositiounsgas a Balancegas opgedeelt ginn. Et gi méi wéi 110 Eenheeten speziell Gase an der Hallefleitindustrie benotzt, vun deenen méi wéi 30 allgemeng benotzt ginn.
Allgemeng trennt d'Hallefuederproduktiounsindustrie Gase an zwou Zorte: gemeinsam Gase a speziell Gase. Ënnert hinnen bezitt de allgemeng benotzte Gas op eng zentraliséiert Versuergung a benotzt vill Gas, wéi N2, H2, O2, Ar, He, asw.. Special Gas bezitt sech op e puer chemesch Gase, déi am Prozess vun der Halbleiterproduktioun benotzt ginn, wéi z. Verlängerung, Ioninjektioun, Vermëschung, Wäschen, a Maskebildung, dat ass wat mir elo elektronesch Spezialgas nennen, wéi héich Puritéit SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, etc.
Am ganze Produktiounsprozess vun der Hallefleitindustrie, vum Chipwachstum bis zur Finale Gerätverpackung, ass bal all Link net trennbar vun elektronesche speziellen Gas, an der Varietéit vu Gas benotzt an héichqualitativ Ufuerderungen, sou datt elektronesch Gas Hallefleitmaterialien huet. "Iessen".
An de leschte Joeren sinn déi grouss elektronesch Komponenten vu China wéi Hallefleit a Displaypanelen an nei Produktiounskapazitéit eropgaang, an et gëtt eng staark Nofro fir Importsubstitutioun vun elektronesche chemesche Materialien. D'Positioun vun elektronesche Gasen an der Hallefleitindustrie ass ëmmer méi prominent ginn. Déi heemlech elektronesch Gasindustrie wäert séier wuessen.
Elektronesch speziell Gas huet ganz héich Ufuerderunge fir Rengheet, well wann d'Rengheet net un d'Ufuerderunge entsprécht, wäerten d'Gëftungsgruppen wéi Waasserdamp a Sauerstoff am elektronesche Spezialgas liicht Oxidfilm op der Uewerfläch vum Halbleiter bilden, wat d'Auswierkunge vum D'Liewensdauer vun elektroneschen Apparater, an den elektronesche spezielle Gas enthält D'Partikele vu Gëftstoffer kënnen Hallefleit-Kürzschluss a Circuitschued verursaachen. Et kann gesot ginn datt d'Verbesserung vun der Rengheet eng vital Roll an der Ausbezuelung an der Leeschtung vun der Produktioun vun elektroneschen Apparater spillt.
Mat der kontinuéierlecher Entwécklung vun der Hallefleitindustrie geet de Chip Fabrikatiounsprozess weider ze verbesseren, an elo ass et 5nm erreecht, wat amgaang ass d'Limite vum Moore's Law z'erreechen, wat entsprécht engem zwanzegsten vum Duerchmiesser vun engem mënschlechen Hoer ( ongeféier 0,1 mm). Dofir stellt dëst och méi héich Ufuerderungen un d'Rengheet vum elektronesche Spezialgas, deen duerch Halbleiter produzéiert gëtt.
Post Zäit: Dezember-15-2021
