Am Fabrikatiounsprozess vu Semikoffurière droen sech erauser mat relativ fortgeschratbar Ausgeschaltprodukter, bal 50 verschidden Aarte vu Gase ginn gebraucht. Gase ginn allgemeng a bulk Gasen opgedeelt anspeziell Gasen.

Uwendung vu Gase a Mikroelektronien a Semikofroncantor Industriecht Industries huet ëmmer eng wichteg Roll an der Semikanden Prozesser benotzt. From ULSI, TFT-LCD to the current micro-electromechanical (MEMS) industry, semiconductor processes are used as product manufacturing processes, including dry etching, oxidation, ion implantation, thin film deposition, etc.

Zum Beispill Vill datt d'Leit erwäche, datt d'Dépipen, awer op de ganz Spekthaartesche Späicheren, méi gebraucht, poléiert ,splänzen net effektiv. Eréckersichung erfëllen och fräifuerdert Substitute, Lafe, Bummmen, Latmen, asw et et. Elektronesch Spezialase sinn den zweetgréissten Material an der Semikondhenhaberhouse Käschten no Silicon Wafer, gefollegt vu Masken a Fotoseristen.

D'Rengheet vum Gas huet en entscheedende Afloss op Komponent Leeschtung a Produktpäerd, an d'Sécherheet vun de Gasversuergung ass am Zesummenhang mat der Gesondheetsversécherung an d'Sécherheet vun der Sécherheet vun der Sécherheet vun der Sécherheet vun der Sécherheet vun der Sécherheet vun der Fabréckoperatioun. Firwat huet d'Rengheet vum Gas sou e groussen Impakt op der Prozesslinn a Personal? Fir d'Exagbetstanderdement ass awer duerch de gefillte chierier am Gas selwer.

Klassifikatioun vu gemeinsame Gasen an der Hallefinstruktor Industrie

Gewéinlech Gas

Gewéinlech Gas gëtt och Bulkgas genannt: Et bezitt sech op industrielle Gas mat enger Puritéitsfuerderung manner wéi 5n an eng grouss Produktiounsvolumen. Et kann an d'Loftdenzandencegas an synthetescht Gas opgedeelt ginn, no verschiddene Virbereedungsmethoden. Waasserstoff (H2), Stickstoff (N2), Sauerstoff (O2), Argon (A2), asw;

Spezialitéit Gas

Spezialitéit gëtt a verschiddene Gasräp studéiers an spezifesche Felder a huet spezielle Forfensfunktiounen fir Péngel, a méimen. HaaptsächlechSih4, Ph3, B2H6, A8H3,Hcl, CF4,Nh3, Pocl3, sih2cl2, sihcl3,Nh3, Bcl3, SIF4, CLL3, CO, C2F6, N2O, FF, HBB, HBR,Sf6... an sou weider.

Aarte vu Spikalasen

Quote vu besonneschen Gases: morrosiv, morikiv, brennbar, duerchkompetabel, inarméieren, asw.
Allgemeng benotzt Semikoffandmeeschter Gase ginn als folgend klasséiert:
(i) korrosiv / gëfteg:Hcl, Bf3, wf6, hbr, sih2cl2, nh3, pH3, Cl2,Bcl3...
(II) brennbar: H2,Fran.,Sih4, Ph3, Ah3, SIHACCLIPC, B2H6, Choug2, Choxf, CO ...
(III) brennbar: o2, C2O, N2O, NF3 ...
(iv) Inert: N2,Cf4, C2F6,C4f8,Sf6, CO2,Ne,Kr,. Hien ...

Am Prozess vum SemikandTor Erkläert, ongeféier 50 verschidden Aarte vu spezielle Gasen (bezeechent als eng speziell Gase ginn, ginn an Oxidatioun, diffuséiert, Photolitatioun, Photolitatioun, Photolitatiounssëtzer, Photiz Zum CSE2, BB3, HB gëtt am Phkooptioun benotzt am Ahh4, N2O am RF3, RSF / NSOLAGE GASTANS MECH

Vun den uewe Punkten, hu mir dat vill Sekemaneschen Gas gefollegt. Besonnesch, e puer vun de Gase, sou wéi Sir4, sinn selbststänneg. Soulaang se léien, si reagéiere se realent mat Sauerstoff an der Loft an ufänken ze verbrennen; an Ash3 ass héich gëfteg. All liicht Läscheg ass dem Liewen seng Liewe verlou sech datt d'Ufuerderunge fir d'Ufuerderunge fir d'Verlaangs fir d'Verhalensystem fiddert, fir d'Benotzung vun de speziellen Gasche sinn besonnesch héich.

Semiconistoren erfuerderen Héich-Rengheet Gasen ze hunn "dräi Grad"

Gas Puritéit

Den Inhalt vun enger Indiurvitéit am Gas ass normalerweis als Efforte ausgemaach ginn, wéi e Gas rengbare, sou wéi 99999%. Eusselen geschwat, d'Rengheet virun allem), a ppt a places 5-64.000. De elektronesche Mämstuewistik huet déi héchster Ufuerderungen fir eng Remitalitéit oder Qualitéitsstabilitéit vu Spezial Gachen sinn, sinn normalerweis méi grouss wéi 6N.

Dréchegkeet

Den Inhalt vum Trace Waasser am Gas, oder Naass, ass normalerweis am Taupunkt ausgedréckt, sou wéi atmosphäresche Taux7 ℃.

Proppernesséiert

D'Zuel vun de pollutantpartikelen am Gas, Partikelen mat enger Partikelgréisst vum μm, gëtt ausgedréckt a wéivill Partikelen / M3. Fir kompriméiert Loft, et gëtt normalerweis a mg / m3 vun onvermeidbaren zolitste Reschter ausgedréckt, déi Ueleginhalt enthält.