Bortrichlorid (BCl3)ass eng anorganesch Verbindung, déi dacks an der Dréchenätzung an der chemescher Dampfoflagerung (CVD) an der Hallefleederproduktioun benotzt gëtt. Et ass e faarflos Gas mat engem staarke schaarfe Geroch bei Raumtemperatur an ass empfindlech op fiicht Loft, well et hydrolyséiert fir Salzsäure a Borsäure ze produzéieren.

Uwendungen vu Bortrichlorid

An der Hallefleederindustrie,Bortrichloridgëtt haaptsächlech fir d'Drécheätzen vun Aluminium a fir d'Bildung vu P-Typ Regiounen op Siliziumwaferen benotzt. Et kann och benotzt ginn fir Materialien wéi GaAs, Si, AlN ze ätzen, an als Borquell a bestëmmte spezifeschen Uwendungen. Zousätzlech gëtt Bortrichlorid wäit verbreet an der Metallveraarbechtung, der Glasindustrie, der chemescher Analyse an der Laborfuerschung benotzt.

Sécherheet vu Bortrichlorid

Bortrichloridass korrosiv a gëfteg a kann eescht Schied un den Aen an der Haut verursaachen. Et hydrolyséiert a fiichter Loft a fräisetzt gëftegt Waasserstoffchloridgas. Dofir mussen entspriechend Sécherheetsmoossname beim Ëmgang mat ... getraff ginn.Bortrichlorid, dorënner d'Droen vu Schutzkleedung, Schutzbrëll an Otemschutzausrüstung, an d'Aarbecht an enger gutt gelëfter Ëmwelt.