Ultra-Héich Rengheet (UHP) Gase sinn d'Liewensblood vun der Hallefinterbriecher. Wéi onbestëmmend Nofro an Stéierungen fir weltwäite Versuergungsketten, déi de Präis vum Ultra-héijen Drockgas, neie Semicondulaire als Niveau vun der Verschmotzung vun der Verpflichtungen erliewt ginn. Fir Semikonductors Hiersteller, kënnen d'Rengheet vum UHP Gas méi wichteg sinn wéi ëmmer.

Ultra héich Puritéit (UHP) Gase sinn absolut kritesch a modernen Hallefschafter Fabrikatioun

Eng vun den Haaptbuschstoffer vum UHP Gas ass Inestizatioun: UHP Gas gëtt benotzt fir eng Schutzmotiounen aus dem Smejinstanten an der Atmosphär ze verschützen, dorënner ze schekteren an der Atmosphär. Allerdeinung ass just eng vill verschidde Funktiounen déi op de SMICLakommurlander Industrie an der Reiger. Vun der primärer Plasma Gase fir ze reaktivéieren déi an der Etching an d'Aneraling, Ultra-héijen Drockgase benotzt gi fir vill verschidden Zwecker benotzt a si wesentlech an der Semikallander

E puer vun de "Core" Gase an der Hallefinstruktor Industrie enthalenumtytsgen(benotzt als allgemeng Botzen an der Inertgas),argon(benotzt als primär Plasma Gas an der Etching an Depositioun Reaktiounen),Helium(benotzt als Inertgas mat speziellen Hëtztbedippung Eegeschaften) anWaasserwylo(spillt verschidde Rollen an Antialen, Depositioun, Epitaxy an Plasma botzen).

Als Semikoffunductor Technology huet entwéckelt an geännert huet, sou datt d'Gase am Fabrikatiounsprozess benotzt gëtt. Haut, Hallefhandwierker Fabrikatiounsplanzen benotzen eng breet Palette vu Gase, aus Adel Gase wéiKrypotonan anNeesFir ze reaktivéieren Spezies wéi den Nitrogen Trifluoridide (NF 3) an och Hexafluoridide (WF 6).

Wuesse Rendez-vous fir Rengheet

Donieft um Ufeld vun deen hei zulässesche Microchel, huet d'Welt eng erstwongbare no-exponeniell Erhéijung vun der Reduktioun vun den omemolandualiséieren. An de leschte fënnef Joer ass ee vun de sécherste Weeër fir dës Aart vun der Ausdrock Verbesserung ze erreechen ass duerch "Gréisst Skala": Reduktioun vun der existenter Chipen Arriviter fir méi Transistenz an e bestëmmte Raum ze prebestéieren. E Navorant vun dëser Entwécklung vun dëser neier Chic Architekten an d'Benotzung vun de Schnéimaterial hunn Material am Geriichtsaz.

Haut, déi kritesch Dimensioune vun de Schneiden-Rand semeschoucture sinn elo sou kleng datt d'Gréisst Skala net méi e liewensfäegste Gerät ze verbesseren. Amplaz, hallefhonduktor Fuerscher sichen no Léisungen a Form vu Romanaterial an 3d Chip Architekturen.

Joerzéngte vun uerdentlechem Redesign heescht haut den Halleflander Apparater sinn wäit méi staark wéi d'Mikkippen vun al - awer si sinn och méi fragil. Den Aventure vun 300mm Waefer Stofferstechnologie ass den Niveau vun der Onméiglechkeete Kontroll fir semiconducing Fabrikatioun erfuerderlech. Och déi geringsten Kontaminatioun an engem Fabrikatiounsprozess (besonnesch seelen oder inertasen) kënnen zu katastrophalausrüstungsausrüstung féiert - sou datt Gas Puritéit ass elo méi wichteg.

Fir en typeschen Hallefhändler Storhation Storance Planz, Ultra-Héich-Dightity Gas ass schonn déi gréisst Material Käschte fir Silicon selwer. Dës Klima sinn nëmmen esou erfuerderlech wéi d'Recht op Oponterkicher séier opzeféieren. D'Evenangenzgang hu sech zousätzlech déi Dauer ultra-héich Drock natierlech verursaacht. D'Ukraine ass eng vun de gréissten Exportrieder vun der héijer PuritéitNeesUnzeeche; D'Russland's Invasioun heescht Ëmgeréits vun der seelen Gas ginn ofgebaut ginn. Dëst am Tour huet sech op Mangel a méi héich Präisser vun anere Adelase gefouert wéiKrypotonan anxenon.