Ultra-héichreine Gaser (UHP) sinn d'Liewensader vun der Hallefleederindustrie. Well eng ongehéiert Nofro a Stéierungen an de globale Versuergungsketten de Präis vum Ultra-Héichdrockgas an d'Luucht dreiwen, erhéijen nei Hallefleederdesign- a Fabrikatiounspraktiken den Niveau vun der erfuerderlecher Verschmotzungskontroll. Fir Hallefleederhersteller ass et méi wichteg wéi jee virdrun, d'Rengheet vum UHP-Gas ze garantéieren.

Ultra héichreine (UHP) Gaser si ganz wichteg an der moderner Hallefleiterproduktioun

Eng vun den Haaptapplikatioune vum UHP-Gas ass d'Inertiséierung: UHP-Gas gëtt benotzt fir eng Schutzatmosphär ronderëm Hallefleederkomponenten ze schafen, wouduerch se virun de schiedlechen Auswierkunge vu Fiichtegkeet, Sauerstoff an aner Kontaminanten an der Atmosphär geschützt ginn. D'Inertiséierung ass awer nëmmen eng vun de ville verschiddene Funktiounen, déi Gaser an der Hallefleederindustrie erfëllen. Vu primäre Plasmagaser bis zu reaktive Gaser, déi beim Ätzen an Glühen agesat ginn, ginn Ultra-Héichdrockgaser fir vill verschidden Zwecker benotzt a si wesentlech an der ganzer Hallefleeder-Versuergungskette.

E puer vun den "Kär"-Gasen an der Hallefleederindustrie sinn ënner aneremStéckstoff(benotzt als allgemengt Botzmëttel an Inertgas),Argon(gëtt als primärt Plasmagas bei Ätz- an Oflagerungsreaktiounen benotzt),Helium(benotzt als Inertgas mat spezielle Wärmeübertragungseigenschaften) anWaasserstoff(spillt verschidde Rollen beim Glühen, der Oflagerung, der Epitaxie an der Plasmareinigung).

Wéi d'Halbleitertechnologie sech entwéckelt a verännert huet, hunn och d'Gaser, déi am Fabrikatiounsprozess benotzt ginn, sech entwéckelt a verännert. Hautdesdaags benotzen d'Halbleiterfabriken eng breet Palette vu Gaser, vun Edelgaser wéi z.B.KryptonanNeonop reaktiv Spezies wéi Stickstofftrifluorid (NF3) a Wolframhexafluorid (WF6).

Wuessend Nofro fir Rengheet

Zënter der Erfindung vum éischte kommerzielle Mikrochip huet d'Welt eng erstaunlech, bal exponentiell Erhéijung vun der Leeschtung vun Hallefleederkomponenten erlieft. An de leschte fënnef Joer war ee vun de séchersten Weeër fir dës Zort vu Leeschtungsverbesserung z'erreechen, d'"Size Scaling": d'Reduzéierung vu Schlësseldimensioune vun existente Chiparchitekturen, fir méi Transistoren an e bestëmmte Raum ze pressen. Zousätzlech dozou hunn d'Entwécklung vun neien Chiparchitekturen an d'Benotzung vu modernste Materialien zu Spréng an der Leeschtung vun den Apparater gefouert.

Hautdesdaags sinn déi kritesch Dimensioune vu modernen Hallefleeder sou kleng, datt Gréisstskaléierung kee machbare Wee méi ass, fir d'Leeschtung vun Apparater ze verbesseren. Amplaz sichen d'Halbleederfuerscher no Léisungen a Form vun neie Materialien an 3D-Chiparchitekturen.

Joerzéngte vun onermiddlechen Neigestaltungen bedeiten, datt déi haiteg Hallefleederkomponenten däitlech méi staark sinn ewéi déi fréier Mikrochips - awer si sinn och méi fragil. D'Entstoe vun der 300mm Wafer-Fabrikatiounstechnologie huet den Niveau vun der Ongereinheetskontroll fir d'Hallefleederproduktioun erhéicht. Och déi klengst Kontaminatioun an engem Produktiounsprozess (besonnesch rar oder inert Gaser) kann zu katastrophalen Ausrüstungsausfäll féieren - dofir ass d'Gasreinheet elo méi wichteg wéi jee.

Fir eng typesch Hallefleederfabrik ass ultra-héichreine Gas scho laang déi gréisst Materialkäschten no Silizium selwer. Et gëtt erwaart, datt dës Käschten nëmmen nach eropgoen, well d'Nofro fir Hallefleeder op nei Héichten klëmmt. D'Evenementer an Europa hunn zu weidere Stéierunge vum gespannten ultra-héichdrockegen Äerdgasmaart gefouert. D'Ukrain ass ee vun de weltgréissten Exportateure vun héichreinem Gas.NeonZeeche; d'Invasioun vu Russland bedeit, datt d'Versuergung vum Edelgas ageschränkt ass. Dëst huet dann zu Knappheeten a méi héije Präisser vun aneren Edelgaser gefouert, wéi z. B.KryptonanXenon.