Spezifizéierung | 99,999% |
Sauerstoff + Argon | ≤1 ppm |
Stéckstoff | ≤4 ppm |
Feuchtigkeit (H2O) | ≤3 ppm |
HF | ≤0,1 ppm |
CO | ≤0,1 ppm |
CO2 | ≤1 ppm |
SF6 | ≤1 ppm |
Halocarbynes | ≤1 ppm |
Ganzen Gëftstoffer | ≤10 ppm |
Kuelestofftetrafluorid ass en halogenéierte Kuelewaasserstoff mat der chemescher Formel CF4. Et kann als halogenéierte Kuelewaasserstoff, halogenéierte Methan, Perfluorocarbon oder als anorganesch Verbindung ugesi ginn. Kuelestofftetrafluorid ass e faarwege a Gerochlosen Gas, onopléisbar a Waasser, opléisbar a Benzen a Chloroform. Stabil ënner normaler Temperatur an Drock, vermeiden staark Oxidatiounsmëttel, brennbar oder brennbar Materialien. Net brennbare Gas, den internen Drock vum Container wäert eropgoen wann se op héijer Hëtzt ausgesat sinn, an et besteet eng Gefor vu Rëss an Explosioun. Et ass chemesch stabil an net brennbar. Nëmme flësseg Ammoniak-Natrium-Metallreagens ka bei Raumtemperatur funktionnéieren. Kuelestofftetrafluorid ass e Gas deen den Treibhauseffekt verursaacht. Et ass ganz stabil, ka laang an der Atmosphär bleiwen, an ass e ganz mächtege Treibhausgas. Kuelestofftetrafluorid gëtt am Plasma Ätzprozess vu verschiddenen integréierte Circuiten benotzt. Et gëtt och als Lasergas benotzt, a gëtt a Kältemëttel mat niddregen Temperaturen, Léisungsmëttelen, Schmiermëttel, Isoléiermaterialien, a Kältemëttel fir Infraroutdetektoren benotzt. Et ass dee meescht benotzte Plasma Ätzgas an der Mikroelektronikindustrie. Et ass eng Mëschung aus Tetrafluoromethan héich Rengheet Gas an Tetrafluoromethan héich Rengheet Gas an héich Rengheet Sauerstoff. Et kann wäit a Silizium, Siliziumdioxid, Siliziumnitrid a Phosphosilikatglas benotzt ginn. D'Ätzen vun dënnem Filmmaterialien wéi Wolfram a Wolfram ass och wäit an der Uewerflächereinigung vun elektroneschen Apparater, Solarzelleproduktioun, Lasertechnologie, Low-Temperatur-Kälte, Leckinspektioun, an Detergent an der gedréckter Circuitproduktioun benotzt. Benotzt als niddereg-Temperatur Kältemëttel a Plasma dréchen Ätz Technologie fir integréiert Kreesleef. Virsiichtsmoossname fir d'Lagerung: Store an engem coolen, gelüfteten net brennbare Gaslager. Bleift ewech vu Feier an Hëtztquellen. D'Lagertemperatur soll net méi wéi 30 ° C sinn. Et soll getrennt vun liicht (brennbar) brennbaren an oxidants gespäichert ginn, a gemëscht Stockage vermeiden. D'Späichergebitt soll mat Leck-Noutbehandlungsausrüstung ausgestatt sinn.
① Kältemëttel:
Tetrafluoromethan gëtt heiansdo als Kältemëttel mat niddregen Temperaturen benotzt.
② Ätzen:
Et gëtt an der Elektronik Mikrofabrizéierung eleng oder a Kombinatioun mat Sauerstoff als Plasma Äss fir Silizium, Siliziumdioxid a Siliziumnitrid benotzt.
Produit | KuelestofftetrafluoridCF4 | ||
Package Gréisst | 40 Ltr Zylinder | 50 Ltr Zylinder | |
Nettogewiicht/Zyl | 30 kgs | 38 kgs | |
QTY Lued an 20'Container | 250 Zyl | 250 Zyl | |
Total Netto Gewiicht | 7,5 Tonnen | 9,5 tonn | |
Zylinder Tara Gewiicht | 50 kgs | 55 kgs | |
Ventil | CGA 580 |
① Héich Rengheet, lescht Ariichtung;
②ISO Zertifika Hiersteller;
③ Schnell Liwwerung;
④Online Analyse System fir Qualitéitskontroll an all Schrëtt;
⑤Héich Ufuerderung a virsiichteg Prozess fir den Zylinder virum Fëllen ze handhaben;