Kuelestofftetrafluorid (CF4)

Technesch Parameteren

Kuelestofftetrafluorid ass en halogenéierte Kuelewaasserstoff mat der chemescher Formel CF4. Et kann als halogenéierte Kuelewaasserstoff, halogenéierte Methan, Perfluorkuelestoff oder als anorganesch Verbindung ugesi ginn. Kuelestofftetrafluorid ass e faarflos an geruchslos Gas, onléislech a Waasser, léislech a Benzol a Chloroform. Stabil bei normaler Temperatur an Drock, vermeit staark Oxidatiounsmëttel, brennbar oder brennbar Materialien. Net brennbar Gas, den internen Drock vum Behälter wäert eropgoen wann en héijer Hëtzt ausgesat ass, an et besteet d'Gefor vu Rëss an Explosioun. Et ass chemesch stabil an net brennbar. Nëmme flëssegt Ammoniak-Natriummetallreagens kann bei Raumtemperatur funktionéieren. Kuelestofftetrafluorid ass e Gas, dat den Treibhauseffekt verursaacht. Et ass ganz stabil, kann laang an der Atmosphär bleiwen an ass e ganz staarkt Treibhausgas. Kuelestofftetrafluorid gëtt am Plasmaätzprozess vu verschiddenen integréierte Schaltunge benotzt. Et gëtt och als Lasergas benotzt a gëtt a Kältemëttel bei niddreger Temperatur, Léisungsmëttel, Schmiermëttel, Isolatiounsmaterialien a Killmëttel fir Infraroutdetektoren benotzt. Et ass dat meeschtbenotzt Plasmaätzgas an der Mikroelektronikindustrie. Et ass eng Mëschung aus Tetrafluormethan héichreinegem Gas an Tetrafluormethan héichreinegem Gas an héichreinegem Sauerstoff. Et kann wäit verbreet a Silizium, Siliziumdioxid, Siliziumnitrid a Phosphosilikatglas benotzt ginn. D'Ätzen vun Dënnschichtmaterialien wéi Wolfram a Wolfram gëtt och wäit verbreet an der Uewerflächenreinigung vun elektroneschen Apparater, der Produktioun vu Solarzellen, Lasertechnologie, Niddertemperaturkillung, Leckkontrolle a Wäschmëttel an der Produktioun vu gedréckte Schaltkreesser benotzt. Et gëtt als Niddertemperaturkillmëttel a Plasma-Drécheätztechnologie fir integréiert Schaltkreesser benotzt. Virsiichtsmoossname fir d'Lagerung: An engem killen, gelëften, net-brennbarem Gaslager lageren. Vun Feier an Hëtztquellen ewech halen. D'Lagertemperatur däerf 30°C net iwwerschreiden. Et soll getrennt vu liicht (brennbare) brennbare Materialien an Oxidatiounsmëttel gelagert ginn, a gemëschte Lagerung vermeiden. De Lagerberäich soll mat Lecknoutbehandlungsausrüstung ausgestatt sinn.

Applikatioun:

① Kältemëttel:

Tetrafluormethan gëtt heiansdo als Niddregtemperatur-Kältemëttel benotzt.

② Ätzung:

Et gëtt an der Elektronik-Mikrofabrikatioun eleng oder a Kombinatioun mat Sauerstoff als Plasmaätzmëttel fir Silizium, Siliziumdioxid a Siliziumnitrid benotzt.

Normalt Pak:

Virdeel:

①Héich Rengheet, neist Ariichtung;

②ISO Zertifikat Hiersteller;

③ Schnell Liwwerung;

④Online-Analysesystem fir Qualitéitskontroll a jidder Etapp;

⑤Héich Ufuerderung a grëndleche Prozess fir d'Handhabung vum Zylinder virum Fëllen;